簡易檢索 / 檢索結果

  • 檢索結果:共2筆資料 檢索策略: "Chao-Chang Chen".ecommittee (精準) and ckeyword.raw="鑽石線鋸"


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    固定磨料鑽石線鋸製程之運動模型與模擬
    • 機械工程系 /102/ 碩士
    • 研究生: 梨文一 指導教授: 鍾俊輝
    • 半導體晶圓製造往往會遇到品質提升與成本降低的挑戰,晶片通過一系列的製造處理,包括晶體生長,切片,壓扁和清潔,線鋸加工是應用於晶片基板製造的主要切片工具。游離磨料線鋸加工為起先在半導體行業中使用之切片…
    • 點閱:564下載:5
    • 全文公開日期 本全文未授權公開 (校外網路)

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    選擇性電泳沉積輔助複線式鑽石線鋸加工於單晶碳化矽晶圓製程分析研究
    • 機械工程系 /110/ 碩士
    • 研究生: 黃鼎軒 指導教授: 陳炤彰
    • 單晶碳化矽(SiC)晶圓是眾所矚目的第三代半導體材料之一,其低漏電流特性、較高的熱傳導率、寬能隙(WBG)和耐化學性,廣泛應用於高功率及高電壓能量轉換裝置元件,然而碳化矽的硬度和脆性使其鑽石線鋸切割…
    • 點閱:266下載:0
    • 全文公開日期 2024/09/27 (校內網路)
    • 全文公開日期 2024/09/27 (校外網路)
    • 全文公開日期 2024/09/27 (國家圖書館:臺灣博碩士論文系統)
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